米的國際標準長度已經用光來定義。由于激光發散性很小，測距精度高，人們在幾十年前就開始用激光干涉儀來測距離。進而用它測直線度和角度，特別在較長距離的測量中發揮了它的優勢。但是激光干涉儀使用時要求找好準直，如果干涉鏡或反射鏡偏離了激光光軸，那么就出錯，而且不能斷光再續，必須重新再來，甚至中間有東西擋一下光也是如此。這些限制了它在空間坐標測量中的應用，另一方面激光終究是一個測長的工具，要用來做空間測量則必須尋求其他的定位裝置。

組成

激光跟蹤測量系統（Laser Tracker System）是工業測量系統中一種高精度的大尺寸測量儀器。它集合了激光干涉測距技術、光電探測技術、精密機械技術、計算機及控制技術、現代數值計算理論等各種先進技術，對空間運動目標進行跟蹤并實時測量目標的空間三維坐標。它具有高精度、高效率、實時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點，適合于大尺寸工件配裝測量。

激光跟蹤測量系統基本都是由激光跟蹤頭（跟蹤儀）、控制器、用戶計算機、反射器（靶鏡）及測量附件等組成。

激光跟蹤測量系統的工作基本原理是在目標點上安置一個反射器，跟蹤頭發出的激光射到反射器上，又返回到跟蹤頭，當目標移動時，跟蹤頭調整光束方向來對準目標。同時，返回光束為檢測系統所接收，用來測算目標的空間位置。簡單的說，激光跟蹤測量系統的所要解決的問題是靜態或動態地跟蹤一個在空間中運動的點，同時確定目標點的空間坐標。

激光跟蹤儀概述

在直角坐標系、圓柱坐標系及球坐標系中唯有球坐標系是只要求長度量的，其他兩個角度量完全可以用現代精密的角度編碼器完成。

現在的三大技術，即：精度的角度編碼器、續光再續和激光催生了激光跟蹤儀。

T-Probe的發明使隱蔽處測量成為可能，尤其是對方向姿態的測量大大擴展了激光跟蹤儀的應用，例如可以用于機器人姿態的動態測量。

激光跟蹤儀在汽車、航空航天和通用制造領域工裝設置、檢測和機床控制與校準應用中得到普遍認可，其中以Leica居多，擁有全球1600多臺的裝機量。激光測量技術如今已開始廣泛應用。